三星故計重施,砸12億重金買斷EUV機臺!

2017-12-18 admin 未知
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近日,全球各大半導體廠搶進先進制程,紛砸大錢向獨家供應商艾司摩爾(ASML),訂購要價1.5億美元(折合人民幣約10億元)起跳的極紫外光微影設備(EUV)。據了解,ASML今年規劃生產的12臺EUV機臺中,三星擬訂下10臺,外界推測三星此舉除考量ASML生產不順外,也趁機阻礙臺積電等其他競爭對手的量產進度。詳情一起來了解。
 
三星力拼7納米制程 隨著半導體制程愈來愈先進,使得10納米以下先進制程,必須導入波長只有13.5納米的極紫外光(EUV),才能降低晶圓制造的光罩數,縮短晶片制程流程。